উত্স: mtiinstruments
এএসটিএম F657:
সামনের এবং পিছনের পৃষ্ঠের সম্পর্কিত পয়েন্টগুলির মধ্যে একটি ওয়েফারের মধ্য দিয়ে দূরত্ব। বেধটি মাইক্রন বা মিলগুলিতে প্রকাশ করা হয় (এক ইঞ্চির হাজারতম)
মোট বেধ পরিবর্তনের (টিটিভি)
এএসটিএম F657:
স্ক্যান প্যাটার্ন বা পয়েন্ট পরিমাপের সিরিজের সময় বেধের সর্বাধিক এবং ন্যূনতম মানের মধ্যে পার্থক্য। টিটিভি মাইক্রন বা মিলসে প্রকাশ করা হয় (এক ইঞ্চির হাজারতম)
উপরের চিত্রটিতে দুটি যোগাযোগ-বিহীন পরিমাপ অনুসন্ধানের মধ্যে রাখা একটি ওয়েফার দেখানো হয়েছে। উপরের প্রোবের মুখ এবং উপরের ওয়েফার পৃষ্ঠ (এ) এবং নীচের প্রোবের মুখ এবং নীচের ওয়েফার পৃষ্ঠ (বি) এর মধ্যে পরিবর্তনগুলি পর্যবেক্ষণ করে, বেধটি গণনা করা যায়। প্রথমে সিস্টেমটি জানা বেধের (টি ডাব্লু ) উপর একটি ওয়েফারের সাহায্যে ক্যালিব্রেট করতে হবে। পরিচিত ঘনত্বের ক্ষেত্রটি প্রোবের মধ্যে এবং ওয়েফারের ফাঁক (এ) এর উপরের প্রোবের মধ্যে স্থাপন করা হয় এবং ওয়েফারের ফাঁক (বি) এর নীচের তদন্তটি অধিগ্রহণ করা হয়। উপরের এবং নিম্ন প্রোবের মধ্যে মোট ফাঁক (গেটোটাল) এরপরে নিম্নরূপ হিসাবে গণনা করা হয়:
জি মোট = এ + বি + টি ডাব্লু
সিস্টেমটি ক্যালিব্রেটেড হওয়ার সাথে সাথে, অজানা বেধের ওয়েফারগুলি এখন মাপা যায়। যখন ওয়েফারটি প্রোবের মধ্যে স্থাপন করা হয়, তখন এ এবং বি এর একটি নতুন মান অর্জিত হয়। বেধ নিম্নলিখিত হিসাবে গণনা করা হয়:
টি ডাব্লু = জি মোট - (এ + বি)
ওয়েফারের একটি স্বয়ংক্রিয় স্ক্যান করার সময়, পয়েন্ট পরিমাপের একটি সিরিজ নেওয়া হয় এবং সংরক্ষণ করা হয়। স্ক্যান শেষ হওয়ার পরে, টিটিভি নিম্নলিখিত হিসাবে গণনা করা হয়:
টিটিভি = টি সর্বাধিক - টি মিনিট
নীচে যোগাযোগের ব্যবস্থা নেই
এএসটিএম F534 3.1.2:
মাঝারি পৃষ্ঠের রেফারেন্স সমতল থেকে একটি মুক্ত, চাপবিহীন ওয়েফারের মধ্যস্থ পৃষ্ঠের কেন্দ্র পয়েন্টের বিচ্যুতিটি ওয়েফারের নামমাত্র ব্যাসের চেয়ে একটি নির্দিষ্ট পরিমাণ ব্যাসের সাথে একটি বৃত্তের সাথে সমানভাবে ব্যবধানযুক্ত প্রতিষ্ঠিত মিডিয়ান পৃষ্ঠের রেফারেন্স প্লেন থেকে বিস্তৃত।
মিডিয়ান সারফেস:
সামনের এবং পিছনের পৃষ্ঠের মধ্যবর্তী স্থানে সমান্তরালভাবে ওয়েফারের পয়েন্টগুলির লোকস। ধনুকটি পরিমাপ ও গণনার সময়, এটি উল্লেখ করা গুরুত্বপূর্ণ যে ওয়েফারের অবস্থানটির মাঝারি পৃষ্ঠটি অবশ্যই জানা উচিত। মাঝারি পৃষ্ঠের বিচ্যুতি পরিমাপের মাধ্যমে, ওয়েফারের কেন্দ্র বিন্দুতে স্থানীয়করণের বেধের বিভিন্নতা গণনা থেকে সরানো হয়।
উপরোক্ত দুটি প্রোবের মুখের মধ্যে ওয়েফার মিডিয়েন পৃষ্ঠের সম্পর্ক দেখায় যেখানে:
ডি = উপরের এবং নিম্ন প্রোবের মুখের মধ্যে দূরত্ব
এ = উপরের প্রোব থেকে শীর্ষ ওয়েফার পৃষ্ঠের দূরত্ব
বি = নিম্ন তদন্ত থেকে নীচের ওয়েফার পৃষ্ঠের দূরত্ব
জেড = উচ্চতর নিম্নতর পৃষ্ঠের মধ্যবর্তী স্তর এবং উপরের এবং নীচের তদন্তের মধ্যবর্তী পয়েন্টের মধ্যবর্তী দূরত্ব (ডি / 2)
ওয়েফারের যেকোন স্থানে জেডের মান নির্ধারণ করতে দুটি সমীকরণ রয়েছে:
জেড = ডি / 2 - এ - টি / 2 এবং জেড = -D / 2 + বি + টি / 2
জেড এর জন্য উভয় সমীকরণ সমাধান করে, মানটি কেবল এই দ্বারা নির্ধারণ করা যায়:
জেড = (বি - এ) / 2
যেহেতু ধনুকটি কেবল ওয়েফারের কেন্দ্রবিন্দুতে পরিমাপ করা হয়, তাই ওয়েফারের প্রান্তটি সম্পর্কে একটি তিন (3) পয়েন্ট রেফারেন্স বিমানটি গণনা করা হয়। তারপরে ধনুকের মানটি ওয়েফারের কেন্দ্রে মধ্যবর্তী পৃষ্ঠের অবস্থানটি পরিমাপ করে এবং রেফারেন্স বিমান থেকে তার দূরত্ব নির্ধারণ করে গণনা করা হয়। নোট করুন ধনাত্মক বা নেতিবাচক সংখ্যা হতে পারে Note ধনাত্মকটি মাঝারি পৃষ্ঠের কেন্দ্র বিন্দুটিকে তিনটি পয়েন্ট রেফারেন্স সমতলের উপরে চিহ্নিত করে। Gণাত্মক মাঝারি পৃষ্ঠের কেন্দ্র বিন্দুটিকে তিনটি পয়েন্ট রেফারেন্স প্লেনের নীচে চিহ্নিত করে।
সৌর শিল্পের জন্য ওয়ার্প পরিমাপ
এএসটিএম এফ 1390:
একটি রেফারেন্স জায়গা থেকে একটি নিখরচায় চাপযুক্ত ওয়েফারের মধ্যস্থ পৃষ্ঠের সর্বাধিক এবং ন্যূনতম দূরত্বের মধ্যে পার্থক্য। ধনুকের মতো, ওয়ার্প একটি ওয়েফারের মধ্যবর্তী পৃষ্ঠ এবং একটি রেফারেন্স প্লেনের মধ্যে পার্থক্যের একটি পরিমাপ। ওয়ার্প তবে কেন্দ্রের বিন্দুতে কেবল অবস্থানের পরিবর্তে ওয়েফারের পুরো মাঝারি উপরিভাগ ব্যবহার করে । পুরো ওয়েফারটি দেখে ওয়ার্প সত্যিকারের ওয়েফারের আকারের আরও কার্যকর পরিমাপ সরবরাহ করে। মাঝারি পৃষ্ঠের অবস্থানটি ঠিক যেমন গণনা করা হয় এবং উপরে দেখানো হয় তেমন গণনা করা হয়। ওয়ার্প নির্ধারণের জন্য, রেফারেন্স বিমানটি নির্মাণের জন্য দুটি পছন্দ রয়েছে। একটি ওয়েফারের প্রান্তের চারদিকে একই তিন পয়েন্টের বিমান plane অন্যটি হ'ল পরিমাপ স্ক্যানের সময় অর্জিত মধ্যম পৃষ্ঠের ডেটা কমপক্ষে স্কোয়াস মাপসই করে। রেফারেন্স প্লেন (আরপিডি সর্বাধিক ) থেকে সর্বাধিক বিচ্যুতি এবং রেফারেন্স প্লেন (আরপিডি মিনিট ) থেকে সর্বনিম্ন পার্থক্য খুঁজে বের করে ওয়ার্প গণনা করা হয়। আরপিডি সর্বোচ্চটি রেফারেন্স প্লেনের উপরে বৃহত্তম দূরত্ব হিসাবে সংজ্ঞায়িত করা হয় এবং এটি একটি ধনাত্মক সংখ্যা। আরপিডি মিনিট হল রেফারেন্স প্লেনের নীচে বৃহত্তম দূরত্ব এবং এটি একটি নেতিবাচক সংখ্যা।
উপরের চিত্রটি ওয়ার্প গণনার একটি চিত্রণ। এই উদাহরণে RPDmax 1.5 হয় এবং রেফারেন্স প্লেনের উপরে মধ্যবর্তী পৃষ্ঠের সর্বাধিক দূরত্ব হিসাবে দেখানো হয়। আরপিডিমিন হল - 1.5 এবং রেফারেন্স প্লেনের নীচে মধ্যবর্তী পৃষ্ঠের সর্বাধিক দূরত্ব হিসাবে দেখানো হয়েছে। নোট ওয়ার্প সর্বদা একটি ইতিবাচক মান is
ওয়ার্প = 1.5 - (-1.5) = 3
এটি ধনুক এবং রেতা উভয় পাঠ গ্রহণের কার্যকারিতাও চিত্রিত করে। প্রদর্শিত ওয়েফারের মাঝারি পৃষ্ঠটি ওয়েফার কেন্দ্রে রেফারেন্স প্লেনটিকে ছেদ করে, সুতরাং, ধনুকের পরিমাপ শূন্য হবে। গণনা করা ওয়ার্প মানটি এই ক্ষেত্রে আরও কার্যকর কারণ এটি ব্যবহারকারীকে বলে যে ওয়েফারের আকারের অনিয়ম রয়েছে।
